日本CKD直動式3通電磁閥現貨 通過無正壓的真空脫離，無需采取措施防止極小芯片被吹走。
無需繁瑣地調整破壞壓力、流量及定時。
不使用真空破壞閥，實現了精簡化。 占用空間小化
與以往的帶破壞單元相比，安裝面積減少44％，重量減少53%，適用于制造裝置的小型化。
即使在極小空間也可安裝，裝置設計的自由度更高。
通過輕量化，便于安裝在裝置可動部。 可配備壓力傳感器
單元中配備真空用壓力傳感器，外形更小巧。
負壓檢測也實現省空間。
采用U形卡銷固定壓力傳感器，提高可維護性。 可安裝真空用過濾器
配管過程中無需安裝過濾器。
真空用過濾器采用快插式更換。 
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